[发明专利]异常检测装置以及异常检测方法在审
| 申请号： | 202010412086.4 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111941282A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 秋山秀 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00;B24B7/24;G01N29/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王培超;张青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供能够高精度地检测针对被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置以及异常检测方法。具备：AE传感器(61)，其设置于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的抛光平台(20)，并经由介于AE传感器(61)与玻璃板(G)之间的浆液(S)来检测来自玻璃板(G)的弹性波；和异常检测部(17)，其基于来自AE传感器(61)的检测信号，来判定玻璃板(G)的异常的有无，AE传感器(61)配置在抛光平台(20)中的玻璃板(G)的载置位置的正下方。 | ||
| 搜索关键词： | 异常 检测 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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