[发明专利]MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统有效
| 申请号： | 202010410940.3 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111561958B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 李宗伟;周永建;张潇筱;刘婧;孟海龙;杨长春;韩可都;冯方方 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00;H03H11/04 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 何蓉 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，所述MEMS传感器检测装置包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路，还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器，所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤波器串联；所述HL型滤波器对低频段信号具有高通滤波功能，所述HL型滤波器对高频段信号具有低通滤波功能。本发明提供的MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，能够有效改善MEMS传感器低频噪声性能，提高系统精度，拓宽MEMS传感器系统带宽。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 检测 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
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