[发明专利]微纳结构的测量以及加工方法有效
| 申请号： | 202010410264.X | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111551112B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 郭登极;陈章;黄海军;林建军;许佼;伍晓宇;徐斌 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强;王勤 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种微纳结构的测量方法和加工方法，测量方法包括：获得微纳结构的实时显微图像，微纳结构包括至少一个微纳单元；识别并拟合显微图像而得到微纳单元的拟合图形；测量拟合图形以获取至少一个微纳单元的尺寸和位置信息。本发明提供的微纳结构的测量方法，通过获得微纳结构的实时显微图像，并通过识别和拟合得到与微纳单元的外形轮廓最为一致的拟合图形，测量拟合图形相当于测量对应的微纳单元，从而获得微纳单元精确的尺寸和位置信息，同时由于能够在加工的过程中执行测量方法，以便于对于微纳结构加工过程进行实时监测，有利于微纳结构的高精度加工。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 测量 以及 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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