[发明专利]一种基于手性微纳结构的气压传感器在审
| 申请号： | 202010370714.7 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111521319A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L7/02 | 分类号： | G01L7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528458 广东省中山市火炬开发区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于手性微纳结构的气压传感器，包括壳体，壳体内的中部设置有衬底，衬底的上方设置有第二金属层，第二金属层的上方设置有弹性层，弹性层的上方设置有第一金属层，金属层1的上方形成惰性气体腔，壳体的上表面内部设置有感压膜和线性激光器，衬底的下方形成真空腔，壳体的下表面内部设置有CCD；该基于手性微纳结构的气压传感器，能够将压力信号转换为两层金属微纳结构间距的变化，从而导致圆偏光入射时，其产生的圆二色性信号会发生变化，通过使用CCD接收此信号并进行分析，可以实现检测到外界气压的目的；该基于双层手性微纳结构的压力传感器具有结构简单、灵敏度高、精确度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 手性 结构 气压 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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