[发明专利]ECR离子源及操作ECR离子源的方法有效
| 申请号： | 202010345506.1 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN111916329B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 亚历山德拉·菲利普 | 申请（专利权）人： | 德利比特有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/02 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;杨明钊 |
| 地址： | 德国戈洛斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及ECR离子源和用于操作ECR离子源的方法。本发明涉及ECR离子源(1)，其具有：圆柱形的等离子体腔室(2)和用于产生磁场磁体(3)，以使等离子体包围在等离子体腔室(2)中；以及微波发生器(8)，其用于在等离子体腔室(2)的外部产生至少两个微波信号，该ECR离子源的特征在于，多个天线(4)被布置成以一定的角度偏移α径向伸入到等离子体腔室(2)中以辐射线性极化的微波，其中在天线(4)处施加相移的微波信号以在等离子体腔室(2)内形成圆极化的微波。 | ||
| 搜索关键词： | ecr 离子源 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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