[发明专利]汽化容器和方法在审

专利信息
申请号: 202010345286.2 申请日: 2020-04-27
公开(公告)号: CN111846965A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: B·C·亨德里克斯;S·L·巴特尔;D·J·埃尔德里奇;J·N·格雷格;J·托马斯;M·F·冈萨雷斯;K·R·乔丹;B·H·奥尔森 申请(专利权)人: 恩特格里斯公司
主分类号: B65G53/02 分类号: B65G53/02;B65D19/38
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 顾晨昕
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请涉及一种汽化容器和方法。一种用于所述汽化容器的托盘,其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法,其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器,其包括所述托盘中的一或多个。
搜索关键词: 汽化 容器 方法
【主权项】:
暂无信息
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