[发明专利]测试机台的校准方法及校准系统在审
| 申请号： | 202010316796.7 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113534033A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 孙宏雨 | 申请（专利权）人： | 圣邦微电子（北京）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;冯丽欣 |
| 地址： | 100089 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试机台的校准方法及校准系统，校准方法包括：由标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数，获得所述待测器件的输出参数的标准值和测试值；抽样测试多个待测器件的输出参数，获得多个标准值和多个测试值；计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值，根据所述差值的均值获得校准系数；存储所述校准系数，根据所述校准系数对所述测试机台进行校准。该校准方法能够实现测试机台的快速精确校准，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 机台 校准 方法 系统 | ||
【主权项】：
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