[发明专利]一种MEMS结构在审
| 申请号： | 202010316641.3 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111405445A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体间隔设置的第一内环体，所述外环体和所述第一内环体之间以及所述第一内环体内侧具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方，所述压电复合振动层包括与所述第一内环体连接的固定端和悬置于所述空腔上方的自由端。本申请通过设置一个或多个内环体，缩短了悬臂梁从固定端到自由端的长度，从而降低了压电复合振动层的膜片翘曲的几率。使得压电复合振动层中的多个悬臂梁结构有效地提高了灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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