[发明专利]一种耐强酸腐蚀的负性光刻胶组合物有效
| 申请号： | 202010225109.0 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111308860B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 王安栋;于凯;孙逊运;腾立 | 申请（专利权）人： | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 余菲 |
| 地址： | 261205 山东省潍坊市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种耐强酸腐蚀的负性光刻胶组合物，包括主体树脂、产酸剂、交联剂和溶剂；其中以所述光刻胶的总固体为基准算，主体树脂的量占总固体量的10‑50%，产酸剂的量占总固体量的10‑30%，交联剂的量占总固体量的0.4‑5%，溶剂的量占总固体量的10‑55%。该负性光刻胶组合物粘附性好，能够承受强酸腐蚀液，可以实现对现用环化橡胶的取代，且不含二甲苯等有害溶剂，采用弱碱性水溶液显影、去离子水定影，无环保隐患，大大改善了生产环境，且降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 强酸 腐蚀 光刻 组合 | ||
【主权项】：
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