[发明专利]基于周期性圆环-狭缝复合孔阵列的表面等离子体光开关

摘要

基于周期性圆环‑狭缝复合孔阵列的表面等离子体光开关，由电介质基底和金属薄膜组成，金属薄膜设于电介质基底正上方，金属薄膜上设有复数个周期性阵列排布的圆环‑狭缝单元，圆环‑狭缝单元包括贯穿金属薄膜厚度方向的圆环和矩形狭缝，矩形狭缝位于圆环内、垂直于阵列周期方向且矩形狭缝的中心与圆环的圆心重合。通过改变入射光的偏振方向、金属薄膜厚度、圆环‑狭缝单元间隔长度等参数优化表面等离子体光开关的性能。本发明结构简单、制作工艺要求低、尺寸小便于集成；无泵浦光对信号光及后续光路的干扰，能够有效控制可见光波段和近红外波段的开关比，操作方便，表面等离子体光开关的功耗低。