[发明专利]照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法有效
| 申请号： | 202010216314.0 | 申请日： | 2015-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111443576B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 刘恩铨;童宇诚 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。该照明系统包括用于产生光线的光源以及不透明板。不透明板设置于光源以及光掩模之间，且不透明板包括环形开口以及双极开口。环形开口具有内侧边以及外侧边。双极开口包括第一开口以及第二开口，其中第一开口与第二开口分别与环形开口相连接，并分别从环形开口的外侧边延伸出，且第一开口与第二开口对称于环形开口的中心点设置。第一开口与第二开口分别为长条状，并彼此平行，且第一开口与第二开口分别横跨环形开口的两部分。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 系统 以及 使用 形成 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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