[发明专利]宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统有效

专利信息
申请号: 202010196927.2 申请日: 2020-03-19
公开(公告)号: CN111276435B 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 李传宇;周连群;张威;郭振;姚佳;张芷齐;李金泽;李超 申请(专利权)人: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H05K3/00
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 代理人: 祁云珊
地址: 215163 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于柔性电子基底拉伸技术领域,具体涉及一种宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统。本发明提供的柔性电子基底近圆式拉伸系统,第一伸缩机构和第二伸缩机构在拉伸区圆周均匀分布,可对柔性电子基底进行多点拉伸,实现了柔性电子基底的近圆式均匀应变,避免了由常规拉伸设备制备的柔性电子基底应变不均匀而出现敏感单元应力集中甚至出现断裂的情况。伸缩驱动机构可单独驱动第一伸缩机构做长程往复伸缩运动,对位于拉伸区的小尺寸柔性电子基底进行均匀拉伸;伸缩驱动机构也可同时驱动第一伸缩机构和第二伸缩机构同步做短程往复伸缩运动,对位于拉伸区的大尺寸柔性电子基底进行均匀拉伸,扩大了不同尺寸柔性电子基底的适用范围。
搜索关键词: 范围 均匀 应变 柔性 电子 基底 近圆式 拉伸 系统
【主权项】:
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