[发明专利]一种气体传感器响应时间的快速测量装置在审
申请号: | 202010196621.7 | 申请日: | 2020-03-19 |
公开(公告)号: | CN111323542A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 钱翔;赵麒;王晓浩;张旻;董瑛 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳国际研究生院 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 王震宇 |
地址: | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种气体传感器响应时间的快速测量装置,包括多个气腔,多个气腔之间通过选择装置连接,所述选择装置包括传感器腔、可控开关及测试接口,待测传感器放置在所述传感器腔中,并通过所述测试接口连接外部测量电路;所述传感器腔与多个气腔连接,并由所述可控开关控制与各个气腔的连接通道的开闭,测量时先对各个腔体通入设定参数的气体并达到气体参数稳定,再通过选择所述可控开关的开闭来选择所述传感器腔与不同的气腔连接,以快速测量出待测传感器在不同气体参数下的响应。本发明的装置能够提高气体传感器的响应时间测试的稳定性和准确性,并且测试效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 传感器 响应 时间 快速 测量 装置 | ||
【主权项】:
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