[发明专利]一种高密度微纳线圈柔性异质集成方法有效
| 申请号： | 202010188599.1 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111333022B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 何剑;丑修建;穆继亮;侯晓娟;赵越芳;范雪明;张宁;李春成;陈亮;薛峰;赵浚东 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 姜伯炎;杨孟娟 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种高密度MEMS微纳线圈柔性异质集成方法，包括：准备刚性基底并清洗；在刚性基底上生长剥离层；在剥离层上沉积多层MEMS微纳线圈，相邻层的MEMS微纳线圈之间沉积薄膜隔离层，将多层MEMS微纳线圈互连，并在最顶层沉积薄膜绝缘层；在薄膜绝缘层上沉积薄膜种子层，再电镀金属应力层；调节金属应力层的厚度，将MEMS微纳线圈剥离；将MEMS微纳线圈与柔性基底进行集成；依次将金属应力层、薄膜种子层去除；在薄膜绝缘层上开孔；将多层MEMS微纳线圈进行互连并折叠。本申请通过可控剥离方法将刚性基底上多层互连的MEMS微纳线圈转移至柔性基底上，并通过柔性基底折叠形成多层堆叠结构，大幅提升线圈匝数，解决狭小空间下MEMS电磁能量采集器的低输出电压难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 线圈 柔性 集成 方法 | ||
【主权项】：
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