[发明专利]蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010183180.7 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113403585A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;轩景泉;刘萍 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板，盖板沿其径向由内向外依次设置有第一区域、第二区域和第三区域；第一区域设置有与盖板同圆心设置的第一蒸发口部；第二区域设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部，每圈中的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的连线不重合；第三区域设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部，每圈中的第三蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发口部的间距相等。本申请提供的蒸镀装置有效地减小蒸镀的阴影区域，并提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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