[发明专利]基于光束自动稳定的半导体激光运动误差测量系统及方法有效
| 申请号： | 202010175977.2 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111351430B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡引娣;杨滨赫;文志祥;凌四营;范光照 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26;G01B11/27 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 陈玲玉 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于线性导轨的运动精度测量技术领域，具体公开了基于光束自动稳定的半导体激光运动误差测量系统及方法，系统包括：长距离四自由度误差测量模块和光束稳定模块。长距离四自由度误差测量模块中，直线度误差和角度误差是基于激光准直原理和激光自准直原理进行的。在光束稳定模块中，近端平行漂移反馈源和远端角度漂移反馈源接收到光束漂移信号后，通过控制电路反馈给两个可由PZT控制角度的直角反射镜，用于补偿和抑制测量范围内的光束稳定。该测量系统采用半导体激光器，成本较低、体积小、设计光路结构简单，易集成在线性平台上，实现在线误差测量。光束稳定模块，可减少光束漂移，有效的提高了测量精度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光束 自动 稳定 半导体 激光 运动 误差 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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