[发明专利]三明治结构锑硒-锑-锑硒纳米复合多层相变薄膜及其制备和应用在审
| 申请号： | 202010175138.0 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111276608A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 吴卫华;朱小芹;眭永兴 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杭行 |
| 地址： | 213011 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三明治结构锑硒‑锑‑锑硒纳米复合多层相变薄膜及其制备和应用，薄膜的总厚度为40‑60 nm，结构通式为SbSe(a)/Sb(b)/SbSe(a)，其中a和b分别表示SbSe薄膜和Sb薄膜的厚度，且17≤a≤24.5 nm，1≤b≤16 nm。本发明通过磁控溅射的方法在SbSe相变材料中穿插一层Sb相变材料，构成三明治结构相变存储薄膜，利用材料各自的优势，使得该三明治结构SbSe/Sb/SbSe相变存储薄膜具有热稳定性高、相变速度快、非晶态电阻和高低电阻合适的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 三明治 结构 纳米 复合 多层 相变 薄膜 及其 制备 应用 | ||
【主权项】：
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