[发明专利]一种真空条件下光学元件多自由度精密定位装置在审
| 申请号： | 202010170513.2 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111273418A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王依;卢启鹏;龚学鹏;宋源 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;H02N2/00 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种真空条件下光学元件多自由度精密定位装置，涉及真空紫外光学技术领域，解决现有光学元件定位采用电磁驱动结构复杂，需要采用真空隔离装置且不能满足使用要求等问题，包括光学平台，在光学平台两侧分别通过交错柔性铰链安装有驱动方向相反的压电驱动器；每个压电驱动器包括端盖、螺栓、压电振子、电极和端座；端盖与外界固定支撑连接，采用螺栓将端盖、压电振子、电极和端座依次串接；压电振子包括两组，所述两组压电振子极性偏置90度安装；每组压电振子包括多片压电振子，所述电极交替安装于每两片压电振子之间。本发明利用两组压电驱动器直接驱动光学平台X、Y、Z、RX、RZ五个自由度的调节，实现光学元件的精密定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 条件下 光学 元件 自由度 精密 定位 装置 | ||
【主权项】：
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