[发明专利]具有垂直扩散板的电容器结构有效
申请号: | 202010168755.8 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN111261617B | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 陈亮 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01L49/02 |
代理公司: | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人: | 杨锡劢;赵磊 |
地址: | 430223 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种电容器结构,包含:半导体衬底;所述半导体衬底中的第一垂直扩散板;所述半导体衬底中并且围绕所述第一垂直扩散板的第一STI结构;所述半导体衬底中并且围绕所述第一STI结构的第二垂直扩散板;以及所述半导体衬底中的离子阱。所述离子阱直接设置在所述第一垂直扩散板、所述第一STI结构和所述第二垂直扩散板之下。所述第二垂直扩散板电耦合至所述电容器结构的阳极。所述第一垂直扩散板电耦合至所述电容器结构的阴极。 | ||
搜索关键词: | 具有 垂直 扩散 电容器 结构 | ||
【主权项】:
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