[发明专利]具有晶体管元件的工作模块

摘要

本发明提供一种工作模块。工作模块包括基板以及晶体管元件。晶体管元件设置于基板上，且晶体管元件包括主动层、源极以及漏极。主动层具有一厚度，且主动层具有第一表面与第二表面，第一表面与第二表面平行。源极与漏极分别与主动层至少部分重叠。第二表面接触源极与漏极。主动层自第二表面到距离第二表面十分之一厚度的范围具有第一锌浓度，自距离第二表面十分之九厚度到第一表面的范围具有第二锌浓度。第一锌浓度高于第二锌浓度。通过主动层中不同锌浓度的分布设计，可改善主动层以及晶体管元件的效能。