[发明专利]一种柔性器件的制备方法和制备设备在审
| 申请号： | 202010157466.8 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111370596A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 孙玉俊;张铭今;庄丹丹 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L27/32;H01L51/00;H01L21/77 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 徐剑兵;张忠波 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性器件的制备方法和制备设备，包括步骤：于承载基板上涂布牺牲层，并进行烘烤、干燥、固化。于所述牺牲层上涂覆柔性基板溶液，并升温干燥，形成柔性基板层。在柔性基板层上制作OLED器件。将柔性器件置于水解槽中，水解所述牺牲层使所述承载基板与具有所述OLED器件的柔性基板层分离。干燥所述柔性基板层底部，制得具有OLED器件和柔性基板层的柔性器件。激光切割柔性器件。上述技术方案发明提供了一种柔性器件的制备方法，借助聚合物材料，利用其粘附和水溶性的特点制备牺牲层，通过溶解分离柔性器件和承载基板得到柔性器件。发明将保护柔性器件的完好性，不因切割剥离造成不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 器件 制备 方法 设备 | ||
【主权项】：
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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