[发明专利]一种光电探测器阵列制备方法

摘要

本发明公开了一种光电探测器阵列制备方法，属于光电材料与器件技术领域，目的在于解决钙钛矿薄膜器件小型化、图形化的问题。其包括以下步骤：S1、首先对石英玻璃基底进行清洗，再对其表面进行处理；S2、对组分为Ti3C2Tx的MXene胶体溶液进行制备，并将制备好的MXene溶液旋涂在S1处理后的石英玻璃基底上成膜；S3、用激光直写对S2中得到涂覆有MXene薄膜的石英玻璃基底进行第一次沟道刻划；S4、在S3处理后的石英玻璃基底上制备钙钛矿吸收层；S5、采用激光直接对S4处理后的样品进行第二次刻划，去移除多余的钙钛矿吸收层；S6、采用激光直写对S5处理后的样品进行第三次刻划，分离出像素单元，形成钙钛矿成像阵列。本发明适用于光电探测器阵列制备方法。