[发明专利]基于双光梳干涉测量法的光学镜片质量检测系统及方法有效
申请号: | 202010150743.2 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN111351640B | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 元晋鹏;汪丽蓉;王三丹 | 申请(专利权)人: | 山西大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人: | 郑晋周 |
地址: | 030006*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明属于光学精密测量技术领域,公开了一种基于双光梳干涉测量法的光学镜片质量检测系统及方法,系统包括光源系统、干涉测量系统、信号处理系统。光源系统包括第一光学频率梳和第二光学频率梳,用于产生重复频率满足外差拍频条件的两束激光;干涉测量系统中,第一光学频率梳的输出信号被分为测量光束和参考光束两束光,其中,测量光束入射到待测光学镜片后,与参考光束重合;重合后的测量光束和参考光束与第二光学频率梳的输出光束再次重合后分为两束,分别被探测器的两个探测窗口探测;信号处理系统用于根据探测器的探测信号,计算得到待测光学镜片的厚度和折射率。本发明可以同时测量玻璃镜片的厚度和折射率,并实现玻璃镜片的二维表征。 | ||
搜索关键词: | 基于 双光梳 干涉 测量 光学镜片 质量 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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