[发明专利]一种基于原子力显微镜的模块式激光辅助平台有效
| 申请号： | 202010145034.5 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111257600B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 卓少木;张嘉荣;邓建南;朱相优 | 申请（专利权）人： | 广州精点科技有限公司;广东工业大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区小谷围街大学*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于AFM可自动调节光斑大小的方法及其激光辅助平台，主要应用于原子力显微镜的光电流的检测，其中主要包括激光器、光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器、Y手动位移台、XZB位移模组、样品台。所述的激光器发出的激光，经过光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器之后将会汇聚成一个焦点，焦点光斑将打在样品的表面，激发样品产生光电流反应，光斑大小可由算法自动调节，并附与手动微调位移台，实现光斑大小和位置的精准控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 原子 显微镜 模块 激光 辅助 平台 | ||
【主权项】：
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