[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用有效
| 申请号： | 202010143255.9 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111211482B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张成;刘嵩;梁栋;翁玮呈;丁维遵;赵励;张鹏飞;毛明明 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/183 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用，包括，衬底；第一反射层，形成在所述衬底上；至少两个发光单元，形成在所述第一反射层上，每一所述发光单元包括至少两个发光子单元；第一沟槽，形成在所述至少两个发光单元之间，所述第一沟槽暴露出所述衬底；绝缘层，形成在所述第一沟槽内；第一电极，形成在所述至少两个发光单元上，连接所述至少两个发光单元，且每一所述发光单元内的发光子单元通过所述第一电极连接，形成公共阳极；至少两个第二电极，与所述第一反射层接触；其中，所述第一电极覆盖所述发光子单元，所述发光子单元发射的光线通过所述衬底出射。本发明提出的垂直腔面发射激光器应用频率快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 及其 制造 方法 应用 | ||
【主权项】：
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