[发明专利]基于超声振动式的Micro LED阵列机械手有效
申请号: | 202010142686.3 | 申请日: | 2020-03-04 |
公开(公告)号: | CN111098330B | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 黄加伟 | 申请(专利权)人: | 科瓦力(宁波)精密器械有限公司 |
主分类号: | B25J15/06 | 分类号: | B25J15/06;B25J15/00;B25J11/00;F26B21/14 |
代理公司: | 深圳灵顿知识产权代理事务所(普通合伙) 44558 | 代理人: | 肖丽华 |
地址: | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于超声振动式的Micro LED阵列机械手,包括底板、顶板、滑移抓取机构、料盘、光学良率检测机构及干燥震动机构;所述滑移抓取机构包括直线滑移部件、垂直位移部件和超声磁性抓取头,所述超声磁性抓取头通过一悬臂连接在垂直位移部件上;所述超声磁性抓取头包括压电微动片、第一超声震动器和座体,所述座体设有多个微震动片,每个所述微震动片均设线性磁电极,所述线性磁电极具有吸附平面;所述干燥震动机构包括可控超声震动器、料槽、U形的隔离罩、静压氮气喷板;所述光学良率检测机构包括第二超声震动器、发光源、光学玻璃板、荧光板支架和荧光接收板;本发明能够实现Micro LED的定向排列,同时能保证Micro LED的排列良率。 | ||
搜索关键词: | 基于 超声 振动 micro led 阵列 机械手 | ||
【主权项】:
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