[发明专利]单质量块三轴MEMS陀螺及其制备方法有效
| 申请号： | 202010135342.X | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111272162B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 赵成;杨义军;朱骏;郭鹏飞;王健 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G01C19/5663 | 分类号： | G01C19/5663;G01C19/5656;B81B3/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东;陈栋智 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单质量块三轴MEMS陀螺，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层和顶板；空腔结构层的底面与底板顶面的底板键合环金硅键合，质量块与悬臂梁结构层中悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面的空腔基板键合环金硅键合，各个S形悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，顶板底面的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，采用单一质量块和组合S形悬臂梁结构，交叉耦合小、灵敏度高，总体结构简单、制备工艺简便。 | ||
| 搜索关键词： | 单质 量块 mems 陀螺 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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