[发明专利]一种温压复合传感器有效
| 申请号： | 202010130417.5 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111397776B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 解婧;李超波;林琳;何彤;郑旭;远雁;王迪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01K7/16 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制备技术领域，尤其涉及一种温压复合传感器，包括：压力敏感结构和温度敏感结构；所述压力敏感结构包括金属电极、第一衬底，在所述第一衬底正面与所述金属电极的连接处设置有压阻结构，第一衬底背面开设背腔结构；所述温度敏感结构包括第二衬底和金属电阻，所述第二衬底中部开设有通孔，所述金属电阻围绕所述通孔设置，所述第二衬底带有所述金属电阻的一面与所述第一衬底背面连接，温度敏感结构与压力敏感结构上下堆叠连接，既实现了压力敏感结构与复杂外界环境的隔离，又保障了被测介质与敏感结构的接触通道，同时还实现了温度原位测量，有利于压力传感器的温漂补偿，提高了测量性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 传感器 | ||
【主权项】：
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