[发明专利]一种基于频谱特性的光学元件表面弱划痕检测方法在审
| 申请号： | 202010128100.8 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111369511A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 刘东;王狮凌;孙焕宇;胡晓波;黄进;周晓燕 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 彭剑 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于频谱特性的光学元件表面弱划痕检测方法，包括：(1)采用激光光源发出光线，依次经过扩束器和整形器获得各部分均匀的平顶光斑，斜入射至待测光学元件，经光学元件表面反射并依次进入光学显微镜和CCD，得到二维图像；(2)对二维图像进行二维离散傅里叶变换，将图像信息从空域转变为频域；(3)对傅里叶变换后的图像进行频移，之后进行不同方向上强度积分，获取弱划痕信号角度；(4)根据频移后的积分信号强弱，将对应方向的强度信号在频率域中滤除；(5)将处理后的图像进行傅里叶逆变换，将得到图片与原始图像进行差分，获得纯净的弱划痕图片。本发明的方法对于弱划痕检测效果好，速度较快，抗噪声干扰能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 频谱 特性 光学 元件 表面 划痕 检测 方法 | ||
【主权项】：
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