[发明专利]一种快速测量平行平板平行度的装置和方法在审
| 申请号： | 202010126544.8 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111238408A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 吴金才;何志平;张亮;窦永昊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速测量平行平板平行度的装置和方法，该发明基于光束经过非平行的光学平板时会产生微小的角度偏转的原理，通过测量光束偏角大小来得到平行平板的角度偏差。该装置由准直激光光源、待检平行平板、平行光管、面阵CCD组件组成，准直激光光源经过平行光管被平行光管焦面的面阵CCD接收，记录插入待检平行平板前后面阵CCD上的光斑位置及偏移方向来快速准确测量平行平板平行度及楔角方向。本发明装置结构简单、成本低廉、调节方法简单，适用于平行平板、光楔等光学器件的批量生产及测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 测量 平行 平板 装置 方法 | ||
【主权项】：
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