[发明专利]多射束扫描透射带电粒子显微镜在审
| 申请号： | 202010123762.6 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111627787A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | A.穆罕默迪-葛黑达日;I.拉锡克;E.博世;G.范韦恩 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/244 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开用于多射束扫描透射带电粒子显微镜的技术。实例设备至少包括带电粒子射束柱，所述带电粒子射束柱用于产生多个带电粒子射束，并用所述多个带电粒子射束中的每个来辐照样品；和成像系统，所述成像系统用于收集在所述辐照期间横穿所述样品的所述多个带电粒子射束中的所述带电粒子射束的每个的带电粒子，并且在横穿所述样品之后将所述多个带电粒子射束中的每个带电粒子射束引导到检测器上，其中每个带电粒子射束包括质心，并且其中所述检测器安置在所述成像系统的后焦平面与成像平面之间的中间位置。 | ||
| 搜索关键词： | 多射束 扫描 透射 带电 粒子 显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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