[发明专利]微波等离子反应装置

摘要

本申请涉及化学气相沉积装置领域，具体而言，涉及一种微波等离子反应装置。该装置包括壳体、沉积基台、微波输送结构以及限位件。微波输送结构包括介质天线和介质窗口。介质天线和介质窗口围合将壳体内腔分隔成第一腔室和第二腔室。沉积基台设置在第一腔室内。限位件位于第二腔室，介质天线通过限位件连接于壳体的内壁，以使介质天线的轴心线与沉积基台的轴心线重合。通过设置限位件能够将介质天线限定在预设的位置，保证介质天线的轴心线始终与沉积基台的轴心线重合。不仅能够提高对于介质天线的支撑强度以及稳定性，而且能够保证介质天线的位置始终在预设的位置，进而保证后续微波作用原料气体产生等离子体，准确地在沉积基台的预设位置沉积。