[发明专利]立体光刻设备和用于调设立体光刻设备的方法有效

专利信息
申请号: 202010118237.5 申请日: 2020-02-26
公开(公告)号: CN111619105B 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: M·韦特斯登;S·盖斯布尔勒 申请(专利权)人: 伊沃克拉尔维瓦登特股份公司
主分类号: B29C64/124 分类号: B29C64/124;B29C64/264;B29C64/393;B33Y30/00;B33Y50/02
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 李鸿达
地址: 列支敦*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种立体光刻设备(100),所述立体光刻设备包括:光源(101),所述光源用于发出用于固化光固化材料(121)的光;传感器(103),所述传感器用于确定所发出的光的光强度的实际值;和控制单元(105),所述控制单元用于适配通过所述光源(101)的电流,直至所述光强度的实际值达到预给定的额定值为止,其中,所述立体光刻设备(100)构造用于经由数字微镜器件(113)将光从所述光源(101)转向到所述传感器(103),所述数字微镜器件用于将光图案(123)投射到所述光固化材料(121)上。
搜索关键词: 立体 光刻 设备 用于 方法
【主权项】:
暂无信息
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