[发明专利]一种自动拉晶过程中取段稳温的升温保护方法在审
申请号: | 202010116902.7 | 申请日: | 2020-02-25 |
公开(公告)号: | CN113373507A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 赵国伟;徐强;高润飞;王林;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;刘学;刘有益;皇甫亚楠;高建芳;杨瑞峰;郭志荣 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种自动拉晶过程中取段稳温的升温保护方法,包括以下步骤,下降坩埚;降低单晶的转速和坩埚的转速;设定升温功率,进行稳温;按照升温时间进行升温;恢复引晶功率,进行引晶。本发明的有益效果是采用自动化控制调节坩埚的位置、坩埚的转速、单晶的转速、升温功率及升温时间,避免由于升温过高导致安全事故的发生,降低劳动强度,提高生产效率,自动化程度高,保证了拉晶过程工艺标准的统一。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 过程 中取段稳温 升温 保护 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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