[发明专利]激光二极管像散的测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 202010116114.8 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111273150B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 罗先萍;林建东;任玉松;李安;李军建 | 申请（专利权）人： | 森思泰克河北科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01M11/02 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 付晓娣 |
| 地址： | 050200 河北省石家庄*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明适用于半导体技术领域，提供了一种激光二极管像散的测量系统及测量方法，系统包括激光二极管、透镜、分束棱镜、光功率计、相机、横缝光阑和竖缝光阑；激光二极管发射激光光束通过透镜传输至分束棱镜；分束棱镜对部分出射光束进行透射形成透射光束，对部分出射光束进行反射形成反射光束；相机实时监控反射光束的光斑形态；横缝光阑安装在光功率计上；根据光功率计实时测量的功率确定光功率计的位置；竖缝光阑替换横缝光阑；将激光二极管从初始位置向前移动至目标位置，激光二极管位于目标位置时，光功率计在激光二极管向前移动的过程中测量的功率最大；初始位置与目标位置之间的距离为激光二极管的像散值。本发明能提高像散测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 激光二极管 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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