[发明专利]一种表面等离激元波长、偏振解复用器件

摘要

本发明公开了一种表面等离激元波长、偏振解复用器件，包括表面等离激元耦合器、表面等离激元波导、表面等离激元探测器以及半导体衬底，其中表面等离激元耦合器由四个具有不同结构参数、排布方向的周期性光栅组成。器件利用表面等离激元耦合器对入射光波长、偏振态信息的识别能力，能够将入射光按照波长、偏振态信息耦合成表面等离激元信号，并使其进入表面等离激元波导进行传输，最终由表面等离激元探测器完成表面等离激元信号到电信号的转换，在微纳结构尺寸上实现光电解复用功能。本发明能够同时对波长和偏振态信息进行分辨，大幅提高了信息的传输带宽，在未来高速、高带宽的光电集成电路中具有很好的应用前景。