[发明专利]一种IC装备用静电卡盘AlN陶瓷及其制备方法在审
| 申请号： | 202010110066.1 | 申请日： | 2020-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN111302806A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李晨辉;邹阳;胡梁;史玉升;刘江安;吴甲民;贺智勇;张启富 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;北京钢研新冶精特科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/622;C04B35/64;H01L21/683 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智;孔娜 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明属于陶瓷制备领域，并具体公开了一种IC装备用静电卡盘AlN陶瓷及其制备方法。该制备方法具体为：将AlN、Sm |
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| 搜索关键词： | 一种 ic 装备 静电 卡盘 aln 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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