[发明专利]一种MEMS传感器的悬梁结构有效
| 申请号： | 202010100937.1 | 申请日： | 2020-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111285324B | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 龙克文 | 申请（专利权）人： | 三桥惠（佛山）新材料有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 肖平安 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区桂城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS传感器的悬梁结构，包括悬梁本体，悬梁本体由第一悬梁板和第二悬梁板组成，第二悬梁板固定连接在第一悬梁板的下端一侧，第一悬梁板的下端另一侧开设有凹槽，凹槽上方的第一悬梁板内部开设有滑槽，滑槽和凹槽相通，滑槽的内部设置有滑板，滑板远离第二悬梁板的一端延伸至第一悬梁板的外部，滑板的下端固定连接有若干弹性支柱，相邻两个弹性支柱之间的距离均相同，本发明通过在悬梁本体的第一悬梁板上设置了带有多个弹性支柱的滑板，当第一悬梁板受到按压时，弹性支柱的弹性柱体会支撑住第一悬梁板，防止第一悬梁板变形或折断。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传感器 悬梁 结构 | ||
【主权项】：
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