[发明专利]一种金刚石微粉的高效率处理方法与装置

摘要

一种金刚石微粉的高效率处理方法与装置，属于金刚石加工及技术领域。所述方法是在真空条件下通过传送放入装置将以600℃至900℃预热后的金刚石微粉置于微波等离子体化学气相沉积系统腔室内的沉积台上。经过不间断的氩、氢和氧混合等离子体于600℃至900℃刻蚀处理的同时施加超声波和负偏置电压辅助，使金刚石微粉颗粒间相互碰撞并促进金刚石微粉均匀地受到等离子体刻蚀，充分消除金刚石颗粒表面不规则凸起及微粉中的非金刚石相等杂质，得到类球形状的纯净金刚石微粉。再通过另一侧的传送取出装置将处理好的金刚石微粉在真空条件下取出并同步冷却。于此同时，输送下一批金刚石微粉并重复上述处理过程，实现纯净、均匀的类球状金刚石微粉颗粒的连续高效率处理。