[发明专利]波前测量设备及波前测量方法在审
| 申请号： | 202010095192.4 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN111256956A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 谈顺毅 | 申请（专利权）人： | 上海慧希电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 200001 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种波前测量设备及波前测量方法，包括：波前补偿系统、控制系统以及检测系统；所述控制系统连接所述波前补偿系统和所述检测系统，所述控制系统控制所述波前补偿系统补偿输入波前，使所述波前补偿系统输出可被所述检测系统检测的波前。本发明直接对待测波前或器件的输出波前进行补偿，并检测补偿后的波前，而非模拟待测波前，将模拟的待测波前与待测波前进行干涉；波前补偿系统对输入的待测波前做补偿，将其补偿为接近平行光或球面波或已知的特定的波前，从而可被检测设备读取。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 设备 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海慧希电子科技有限公司，未经上海慧希电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010095192.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
