[发明专利]应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置有效
| 申请号： | 202010089798.7 | 申请日： | 2020-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN111257598B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 江亮;吴渊;钱林茂;陈宇山;徐文镔 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q30/00 |
| 代理公司： | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268 | 代理人： | 钟玉巧 |
| 地址： | 610031 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其包括：进样腔、进样机构和传样盒。进样腔包括：进样腔腔体、进样口、进样腔观察窗口、操作杆和进样腔盖子。进样机构包括：推杆、进样导轨、进样平台和样品刮片。传样盒包括：传样盒盖子和传样盒凸台。本发明的传样过程如下：将真空管道中的待测样品放入传样盒内并密封；将传样盒取出并放入进样腔中并密封；将进样腔与真空扫描探针显微镜抽真空，打开传样盒，利用进样机构仅将待测样品传送到真空扫描探针显微镜的样品台上。本发明实现了待测样品平稳可靠传送，严格保证传样时待测样品始终处于真空环境中，且适用于现有的真空扫描探针显微镜，有效保护压电陶瓷管。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 真空 扫描 探针 显微镜 管道 样品 传送 装置 | ||
【主权项】：
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