[发明专利]麦克风振膜振幅测量方法及其装置有效
| 申请号： | 202010087204.9 | 申请日： | 2020-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN111289085B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 祁志美;马振钧;吴高米;任迪鹏;刘欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;H04R29/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种麦克风振膜振幅测量方法及其装置，该装置包括单模光纤、被测麦克风、声源、光源、光谱探测模块及控制与信号处理单元。该装置利用单模光纤与被测麦克风振膜的局部区域形成法布里‑珀罗(FP)干涉腔；使入射光通过单模光纤入射至FP干涉腔产生干涉光；控制声源发出声波以激励振膜振动，利用光谱探测模块连续探测在振膜振动时经FP干涉腔产生的干涉光，得到多个干涉光谱；对该多个干涉光谱进行处理，以求取振膜振动时FP干涉腔的多个腔长，根据多个腔长确定振膜局部区域的振幅大小。本发明装置结构简单、使用方便、测量精度高，不仅适用于测量各种麦克风的机械灵敏度，还可在麦克风制造过程中在线测量振膜振幅，可优化制造工艺，提高器件一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 振幅 测量方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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