[发明专利]一种213nm紫外光的输出方法及系统有效
| 申请号： | 202010084386.4 | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN113258427B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 王家赞;江锐;储玉喜;张旭东;范元媛;沙鹏飞 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109;H01S3/11 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于激光技术领域，提供了一种213nm紫外光的输出方法及系统，包括：控制激光器产生激光脉冲，所述激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光，所述532nm倍频光和剩余的1064nm基频光经四倍频晶体后产生266nm激光脉冲；所述266nm激光脉冲和所述剩余的1064nm基频光照射到五倍频晶体，以产生213nm紫外光。本发明的提供的方法可以避免二倍频光和三倍频光进行和频产生213nm激光脉冲过程中偏振需要转换的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 213 nm 紫外光 输出 方法 系统 | ||
【主权项】：
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