[发明专利]一种213nm激光器有效
| 申请号： | 202010084352.5 | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN113258426B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 王家赞;江锐;储玉喜;张旭东;沙鹏飞;范元媛 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109;H01S3/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种213nm激光器，包括1064nm激光器、二倍频晶体、四倍频晶体以及五倍频晶体；1064nm激光器、二倍频晶体、四倍频晶体以及五倍频晶体依次连接；1064nm激光器用于产生1064nm激光脉冲；二倍频晶体接收1064nm激光器发出的1064nm激光脉冲，用于将部分1064nm激光转换为532nm倍频光；四倍频晶体将532nm倍频光转换为266nm激光脉冲；五倍频晶体将1064nm激光、266nm激光脉冲转换为213nm激光。213nm激光器可以避免二倍频光和三倍频光进行和频产生213nm激光脉冲过程中偏振需要转换的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 213 nm 激光器 | ||
【主权项】：
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