[发明专利]工作件的设计图像的补偿方法及处理系统

摘要

本公开提供了一种工作件的设计图像的补偿方法及处理系统，补偿方法包括取得工作件的具有多个对位点的实际图像。计算每个对位点的斜率。依据每个对位点的斜率，决定这些对位点中各相邻的二对位点间的内插点的点数。取得这些对位点所界定的多个区块中的多个控制点的位置，每个区块由这些对位点中的多个对位点在实际图像上所圈围形成且包含这些控制点中的多个控制点，且每个区块中控制点的点数关联于圈围所述区块的对位点之间内插点的点数。依据这些对位点、这些内插点及这些控制点的位置补偿工作件的设计图像以产生并输出映射图像用于映射在工作件。