[发明专利]半导体器件及其制作方法、集成电路、电子设备和芯片在审
申请号: | 202010080836.2 | 申请日: | 2020-02-05 |
公开(公告)号: | CN111244184A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 顾杰;姚佳欣;张青竹;徐忍忍;殷华湘 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/10;H01L21/336 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种半导体器件及其制作方法、集成电路、电子设备和芯片,涉及半导体器件技术领域,用以抑制寄生沟道对半导体器件的影响,提高半导体器件的性能。该半导体器件包括衬底、扩散阻挡层和环栅晶体管;扩散阻挡层形成在衬底的表面;环栅晶体管形成在扩散阻挡层背离衬底的表面。本发明提供的半导体器件及其制作方法、集成电路、电子设备和芯片用于半导体器件及集成电路的制作。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制作方法 集成电路 电子设备 芯片 | ||
【主权项】:
暂无信息
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