[发明专利]离子植入在线监测方法、装置、计算机设备和存储介质有效
| 申请号： | 202010080683.1 | 申请日： | 2020-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN111326384B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王智权;滕庚烜 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子植入在线监测方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取当前进行离子植入的晶圆的理论离子植入剂量；获取离子植入设备以所述理论离子植入剂量进行离子植入的运行参数；利用所述运行参数和所述理论离子植入剂量进行计算得到离子植入比；将所述离子植入比与预设植入比进行比较，并根据比较结果确定本次离子植入得到的晶圆产品是否异常。采用本方法利用理论离子植入剂量和设备的运行参数计算得到离子植入比，通过将植入比与预设植入比进行比较进而实现判断实际植入到晶圆中的离子植入是否存在异常，实现了在线监测，减少了对晶圆允收测试的依赖，能够准确的在离子植入阶段剔除损坏的晶圆产品，避免了资源浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 在线 监测 方法 装置 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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