[发明专利]一种制备发光多孔硅粉的方法

摘要

本发明提供了一种制备发光多孔硅粉的方法，包括以下步骤：1)向球磨罐中加入单晶硅片、去离子水、磨球，充入氩气或氮气作为保护气体，用球磨机研磨后得到单晶硅粉和水的混合物；2)将步骤1)的混合物在真空干燥箱中干燥得到单晶硅粉；3)将HF溶液与去离子水混合制备腐蚀液；4)将步骤2)得到的单晶硅粉加入到反应釜中，再加入步骤3)的腐蚀液；5)将反应釜密封之后放入烘箱中加热；6)将反应釜移出烘箱，冷却至室温；7)用微孔滤膜过滤，干燥后得到多孔硅粉体，紫外光照下发射可见光。相比于普通硅片腐蚀法，可一次性制得大量多孔硅粉体，解决了普通方法产量低，要想获得大量多孔硅粉体，只能多次重复的问题。