[发明专利]用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构在审
| 申请号： | 202010078478.1 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111498796A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | J·莱茵穆特;T·弗里德里希 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02;G01L9/00;G01L19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实现一种用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构以及MEMS构件。方法具有以下步骤：提供衬底(S)，在衬底上施加微机械的功能层组件(FS)，其具有一个或多个功能层，功能层组件(FS)具有空腔(K)，空腔通过贯通开口(D；D')朝着功能层(FS)的外侧地露出，贯通开口具有比功能层组件(FS)更小的横向延展；借助HDP方法如此在功能层组件(FS)和贯通开口(D；D')的外侧上沉积封闭层(O，O')，使得封闭层(O，O')的第一区域(O)在功能层组件(FS)的外侧上生长，封闭层(O，O')的第二区域(O')从空腔(K)内在贯通开口(D；D')以下柱状地生长；由封闭层(O，O')的第二区域(O')在贯通开口(D；D')中构造封闭区域(VBO)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 mems 结构 方法 相应 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010078478.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：天线装置
- 下一篇：用于眼睛追踪应用的镜片和头戴式装置
