[发明专利]一种MEMS微力-力矩传感器的标定装置及标定方法有效
| 申请号： | 202010074375.8 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111220324B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;邱霁玄;王欢;张成功;吴文渊;金敏慧;王洁 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | G01L25/00 | 分类号： | G01L25/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 201418 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS微力‑力矩传感器的标定装置，其特征在于，包括测试平台、设于测试平台上的纳米压痕仪、设于纳米压痕仪的放置平台上的斜面平台组件、以及与待测MEMS微力‑力矩传感器连接的模数转换电路和传感器供电电源；斜面平台组件包括若干个斜面倾斜角度不同的斜面平台元件；所述的待测MEMS微力‑力矩传感器为六轴传感器，包括传感器本体和与所述的传感器本体连接的立柱；所述的传感器本体固定于所述的斜面平台元件的斜面上；所述的纳米压痕仪的施力杆与所述的立柱在竖直方向上对齐。与现有技术相比，本发明具有成本低，标定精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 微力 力矩 传感器 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
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